仕 様 | 2次電子像:高加速電圧30kv:3.0nm :低加速電圧3KV:10nm 反射電子像分解能(低真空6Pa):4.0nm 倍率:x5〜300000 加速電圧:0.3〜30kv 試料ステ-ジ(X.Y軸):100x50 最大搭載可能試料サイズ:200mm径 試料ステ-ジ(X.Y軸mm):5軸モ-タ駆動 本体/重量:外寸:700x800x1460h/360kg 電源:AC100V 2KVA 本体゜
| | 構成 本体:S-3400 フルスクリ-ン機能 簡易メジャ- 19型L 5軸モ-タドライブユニツト タ-ボ分子ポンプ
| 備 考 | | | メ-タ-解体後引取点検済み |
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